RATC – Máy đo tọa độ ba chiều (CMM) và giải pháp kiểm tra toàn kích thước trong ngành bán dẫn

Sự bứt phá của các công nghệ truyền thông 5G, lái xe thông minh, và màn hình hiển thị thế hệ mới đã thúc đẩy ngành bán dẫn tiến tới quy trình chế tạo tinh vi hơn, trong khi các linh kiện quang – điện ngày càng đạt mức độ tích hợp cao hơn.

Kiểm tra cấu trúc ở cấp độ micromet, phát hiện khuyết tật ở cấp độ nanomet, cùng truy xuất dữ liệu toàn quy trình đã trở thành con đường tất yếu để thúc đẩy nâng cấp và đổi mới ngành công nghiệp.

RATC chính là “Lưỡi ánh sáng” giúp ngành bán dẫn phá vỡ giới hạn trong kiểm tra vi mô. Với giải pháp kết hợp quang – điện làm động lực cốt lõi, công ty đang dẫn dắt quá trình chuyển đổi từ phân tích lỗi hậu kiểm sang dự báo tiên liệu chủ động.

Đây không chỉ là một cuộc cách mạng trong quản lý chất lượng thiết bị bán dẫn, mà còn là nền tảng vững chắc tạo nên “hào lũy chất lượng” cho sự phát triển bền vững của toàn ngành.

Điểm nổi bật 1: Giải pháp độ chính xác cao cho linh kiện quang học

Thách thức và nhu cầu

Thách thức 1: Phương pháp đo VMM truyền thống sử dụng bi tùy chỉnh đặt trong rãnh hình chữ V để xác định tâm, dẫn đến hiệu suất thấp.
Thách thức 2: Các máy đo tọa độ thông thường khó đảm bảo độ chính xác ở cấp micromet cũng như độ lặp lại cao trong kết quả đo.

Nhu cầu 1: Làm thế nào để đo độ đồng trục và độ tròn của thấu kính với hiệu suất cao, độ chính xác cao và khả năng lặp lại ổn định?
Nhu cầu 2: Làm sao đảm bảo độ chính xác của kết quả đo đối với khuôn thấu kính yêu cầu dung sai ở cấp micromet?

Giải pháp của ZEISS

Phần cứng: PRISMO 9/15/7 verity
Phần mềm: CALYPSO

Ưu điểm 1: Phần mềm ZEISS CALYPSO tích hợp chức năng tự định tâm thông minh, giúp tối ưu quá trình đo.
Ưu điểm 2: PRISMO – dòng máy đo tọa độ cao cấp hàng đầu của ZEISS, đạt độ chính xác tới 0.7 μm, với đầu đo VAST gold có độ phân giải lên đến 50 nm, mang lại kết quả đo ổn định và đáng tin cậy.

Điểm nổi bật 2: Giải pháp máy tiêu chuẩn cho bàn gá (đĩa đỡ mẫu)

Thách thức và nhu cầu

Thách thức 1: Trong quá trình đo toàn bộ kích thước theo bản vẽ, hiện nay phải sử dụng nhiều loại thiết bị khác nhau như VMM, CMM, panme, thước đo cao…, dẫn đến hiệu suất thấp và độ chính xác khó đảm bảo.
Thách thức 2: Cần nâng cao hiệu suất đo đồng thời duy trì độ chính xác cao.

Nhu cầu 1: Thực hiện đo toàn bộ kích thước theo bản vẽ thiết kế.
Nhu cầu 2: Máy đo độ chính xác cao có thể đóng vai trò máy chuẩn trong quy trình kiểm định.

Giải pháp của ZEISS

Phần cứng: O-INSPECT 8/6/3 DUO
Phần mềm: CALYPSO

Ưu điểm 1: Máy đo hợp nhất đa đầu đo (multi-sensor) đáp ứng linh hoạt nhiều nhu cầu đo lường khác nhau.
Ưu điểm 2: Máy đo độ chính xác cao, phù hợp cho đo toàn bộ kích thước chi tiết, thích hợp cho cả bề mặt phẳng lẫn chi tiết có hình dạng phức tạp, và không gây hư hại đối với các chi tiết kích thước lớn.
Ưu điểm 3: Phù hợp với nhiều loại chi tiết, từ cỡ nhỏ đến cỡ lớn, đảm bảo độ tin cậy và tính nhất quán trong kiểm tra.